شركة آيسميلي ASML تعلن عن تقدم تقني في مصدر الضوء EUV، مع توقع زيادة طاقة إنتاج الرقائق بنسبة 50% بحلول عام 2030

ذكرت مجلة IT House في 23 فبراير أنه وفقا لوكالة رويترز اليوم، قال باحثو ASML إنهم وجدوا طريقة لزيادة قوة مصادر الضوء في معدات تصنيع الشرائح الرئيسية، مما يمكن أن يزيد إنتاج الشرائح بنسبة تصل إلى 50٪ بحلول عام 2030.

أشارت IT House إلى أن مايكل بورفيس، المدير التقني لشركة ASML Extreme Ultraviolet Light Source (EUV)، قال في مقابلة: "هذا ليس مشروعا فاخرا، ولا من النوع الذي يمكن إثباته إلا في فترة زمنية قصيرة جدا، هذا نظام يمكنه إنتاج 1000 واط من الطاقة بشكل مستقر تحت جميع متطلبات بيئة إنتاج العميل الفعلية. ”

مع هذا التقدم التكنولوجي الذي أعلن يوم الاثنين، تهدف ASML إلى زيادة الابتعاد عن جميع المنافسين المحتملين من خلال تحسين أصعب أجزاء آلة الطباعة الحجرية تقنيا، حسبما ذكر التقرير. يعد هذا اختراقا تقنيا لتوليد ضوء فوق بنفسجي شديد بالطاقة والخصائص المناسبة لتصنيع الشرائح بكميات كبيرة، وقد وجد باحثو الشركة طريقة لزيادة قوة مصادر ضوء EUV من 600 واط الحالية إلى 1000 واط.

الميزة الرئيسية هي أن الطاقة الأعلى تعني إمكانية تصنيع المزيد من الشرائح في الساعة، مما يقلل من تكلفة شريحة واحدة. عملية تصنيع الرقائق تشبه “الطباعة”: حيث يتم تسليط الضوء فوق البنفسجي الشديد على رقاقة سيليكون مطلية بالفوتوريست. مع مصدر ضوء EUV عالي الطاقة، سيتم تقليل وقت التعريض المطلوب من قبل مصانع الشرائح بشكل كبير.

قال تيون فان جوخ، نائب الرئيس التنفيذي لأعمال آلات الطباعة الحجرية EUV من سلسلة NXE في ASML، إنه بحلول عام 2030، يمكن للمعدات المطورة معالجة حوالي 330 رقاقة في الساعة، مقارنة ب 220 اليوم. اعتمادا على حجم الشريحة، يمكن لكل رقاقة إنتاج مئات إلى آلاف الشرائح.

ذكر التقرير أن ASML حققت زيادة في القوة من خلال تقوية أحد أكثر مكونات آلة الطباعة الحجرية تعقيدا، وهو مولد قطرات القصدير. في هذا النظام، تقوم كمية كبيرة من ليزر ثاني أكسيد الكربون بتسخين قطرات القصدير إلى بلازما، وهي حالة من المادة فائقة الحرارة، والتي تصدر بعد ذلك ضوءا فوق بنفسجيا شديدا يمكن استخدامه في تصنيع الرقائق.

التطور الرئيسي، الذي تم الكشف عنه يوم الاثنين، هو مضاعفة عدد قطرات القصدير إلى حوالي 100,000 مرة في الثانية وتشكيله إلى بلازما مع نبضتين ليزر أصغر، مقارنة بالآلة الحالية التي لا يمكن تشكيلها إلا مرة واحدة.

قال بورفيس: “الأمر صعب جدا لأنك بحاجة لإتقان الدقة النانوية، وتقنيات الليزر، وعلوم البلازما، وعلوم المواد.” وأضاف: “ما حققناه عند مستوى الكيلوواط مهم، ونرى بالفعل طريقا واضحا نحو 1500 واط، ومن الناحية النظرية، لا توجد عقبات أساسية أمام تجاوز 2000 واط في المستقبل.” ”